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雙電測四探針測試儀報(bào)價(jià)

雙電測四探針測試儀報(bào)價(jià) 型號(hào):TZ24-RTS-9庫號(hào):M407314
RTS-9 型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測
量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,把
采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加與分析,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等
因素對(duì)測量結(jié)果的影響。

  • 產(chǎn)品型號(hào):RTS-9
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-01-10
  • 訪  問  量:965
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聯(lián)系電話:010-59410839

產(chǎn)品詳情

雙電測四探針測試儀報(bào)價(jià)雙電測四探針測試儀報(bào)價(jià) 型號(hào):TZ24-RTS-9庫號(hào):M407314  


RTS-9 型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測

量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,把

采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加與分析,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等

因素對(duì)測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于

每次測量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量

結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、

穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-9 型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng) 是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計(jì)算機(jī)與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)

算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種

數(shù)據(jù)分析。

是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計(jì)算機(jī)與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)

算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種

數(shù)據(jù)分析。

技 術(shù) 指 標(biāo) :

測量范圍

電阻率:10 -5 ~10 5 ?.cm( 可擴(kuò)展) ;

方塊電阻:10 -4 ~10 6 ?/ □ ( 可擴(kuò)展) ;

電導(dǎo)率:10 -5 ~10 5 s/cm ;

電阻:10 -5 ~10 5 ? ;

可測晶片厚度 ≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 配 S-2A 型測試臺(tái)) ;

200mmX200mm(配 配 S-2B 型測試臺(tái)) ;

400mmX500mm(配 配 S-2C 型測試臺(tái)) ;

恒流源

電流量程分為 1µA 、10µA 、100µA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔,各檔電流

連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00 ~199.99 mV ;分辨力:10µV ;輸入阻抗>1000M? ;

精度:±0.1% ;顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)

間距:1±0.01mm ;針間絕緣電阻:≥1000M? ; 機(jī)械游移率:≤0.3 %;

探針:碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ;探針壓力:5 ~16 牛頓( 總力) ;

模擬電阻測量相對(duì)誤差

( 按 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 %±1 字

差 整機(jī)測量大相對(duì)誤差 ( 用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4 %

度 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4 %

測試標(biāo)準(zhǔn)

采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),通過 RTS-9 雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測

量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算

出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容 RTS-8 四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),

兩套軟件可同時(shí)使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、

小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)

生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟

件還可選擇自動(dòng)測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口 并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度:23±2 ℃;

相對(duì)濕度:≤65 %;

無高頻;

無強(qiáng)光直射




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